Fiche d'un projet ANR
36464Plasmas Haute Densité Alternatifs pour les PACVD et PVD de couches minces SiNOCH (Etude des interactions plasmas/surfaces pour la compréhension de la croissance de couches et leur interface film/substrat : propriétés optiques et électriques) [En savoir plus]HDPlasm-A-SINOCH - ANR-13-BS09-0013
Blanc 2013 - 2013