Fiche d'un projet ANR
719MiNaTorr : Procédés d'encapsulation sous vide poussé, réalisé collectivement sur tranche, pour MEMS/NEMS de haute performance. Application aux capteurs sismiques MEMS et aux détecteurs IR micro-bolométriques [En savoir plus]MiNaTorr - ANR-05-NANO-0066
PNANO - 2005