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ind titre acronyme reference ACTIONS
36464 Plasmas Haute Densité Alternatifs pour les PACVD et PVD de couches minces SiNOCH (Etude des interactions plasmas/surfaces pour la compréhension de la croissance de couches et leur interface film/substrat : propriétés optiques et électriques) HDPlasm-A-SINOCH ANR-13-BS09-0013